Rasterelektronenmikroskop Tescan Vega3 SBH

Beim Rasterelektronenmikroskop (REM) wird ein Elektronenstrahl in einem bestimmten Muster über die zu untersuchende Probe geführt (gerastert). Wechselwirkungen der Elektronen mit der Probe ermöglichen hochauflösende Abbildungen des Materials sowie dessen chemische Analyse.

Technische Spezifikationen:

• Beschleunigungsspannung: 200 V – 30 kV, Probenstrom 1 pA – 2 μA.
• teilmotorisierter Probentisch: X, Y, Rotation; Z und Kippung manuell
• Sekundär- und Rückstreuelektronendetektor:
  • Abbildung leitender Proben in verschiedenen Abbildungsmodi,
  • Vergrößerungen bis zu 100 000 x möglich
• Bruker XFlash 5030 EDX-Detektor (SDD):
  • Bruker QUANTAX EDX-System zur Elementanalyse
  • (EDX-Punktmessungen, Linescans und Mappings)
• verschiedene Probenhalter,
  z.B. Standard-Probenhalter Ø 12.5 mm, Probenhalter für runde Proben bis Ø 20 mm und
  30 mm oder für flache Proben bis 20 mm Breite
• Probenanforderungen:
  • elektr. Leitfähigkeit, max. Maße: 22 mm Höhe, Ø 100 mm, Gewicht: 200 g.
• Möglichkeit zur 3D-Darstellung

Anwendung:

• Hochauflösende Gefügeanalyse von Werkstoffen
• qualitative und (semi-)quantitative chemische Analyse mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX)
• Charakterisierung von Bruchflächen